HEPAフィルターユニット 2025.11.172025.11.21 ファン付きHEPAフィルターユニット クリーンブース用ファンフィルタユニット 流量35m³/min設計圧力1,000Pa材質SUS304グレードHEPA設置場所クリーンブースフレームエレメント固定方式HEPAエレメントに載せて固定